The Electrochemical Society: Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing. The Electrochemical Society, 2000, ISBN 978-1-566-77259-4, S. 248 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
Tadahiro Ohmi: Scientific Wet Process Technology for Innovative LSI/FPD Manufacturing. CRC Press, 2016, ISBN 978-1-420-02686-3, S. 178 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
Alain Tressaud: Functionalized Inorganic Fluorides Synthesis, Characterization and Properties of Nanostructured Solids. John Wiley & Sons, 2010, ISBN 0-470-66075-9, S.210 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).