Lis K. Nanver, Egbert J. G. Goudena: Ion Implantation. In: Wiley Encyclopedia of Electrical and Electronics Engineering. American Cancer Society, 1999, ISBN 978-0-471-34608-1, doi:10.1002/047134608X.W7021.
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Andrew Marshall, Sreedhar Natarajan: SOI Design: Analog, Memory and Digital Techniques. Springer, 2002, ISBN 0-7923-7640-4, S.6 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
