Scatterometrie (German Wikipedia)

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Thomas Schuster: Simulation von Lichtbeugung an Kreuzgitter-Strukturen und deren Anwendung in der Scatterometrie. 2010, Abschnitt 5.3 Historische Entwicklung und Varianten der Scatterometrie, urn:nbn:de:bsz:93-opus-51081 (Dissertation, Universität Stuttgart, 2010).

uni-stuttgart.de (Global: 7,949^th place; German: 1,208^th place)

Scatterometrie. Universität Stuttgart, abgerufen am 11. März 2015.