Sputtern (German Wikipedia)

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Peter Gawlitza, Stefan Braun, Andreas Leson, Sebastian Lipfert, Matthias Nestler: Herstellung von Präzisionsschichten mittels Ionenstrahlsputtern. In: Vakuum in Forschung und Praxis. Band 19, Nr. 2, 2007, S. 37–43, doi:10.1002/vipr.200700310.