Egon Wiberg, Nils Wiberg, Arnold Frederick Holleman: Inorganic chemistry, s. 897. Academic Press, 2001. ISBN 978-0-12-352651-9. Kirja Googlen teoshaussa (viitattu 17.2.2021). (englanniksi)
Michael Nastasi, James W. Mayer: Ion Implantation and Synthesis of Materials, s. 215. Springer, 2006. ISBN 978-3-540-23674-0. Kirja Googlen teoshaussa (viitattu 17.2.2021). (englanniksi)
ieee.org
ieeexplore.ieee.org
Barry Chambers, Ying Tang, Sharad Yedave, Oleg Byl, Greg Baumgart, Joseph Despres & Joseph Sweeney: Germanium ion implantation efficiency improvement with use of germanium tetrafluoride. 20th International Conference on Ion Implantation Technology (IIT), 2014. Artikkelin verkkoversio. Viitattu 17.2.2021. (englanniksi)
