« Silicate d'éthyle » dans la base de données de produits chimiques Reptox de la CSST (organisme québécois responsable de la sécurité et de la santé au travail), consulté le 25 avril 2009
doi.org
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(en) D.A.P Bulla et N.I Morimoto, « Deposition of thick TEOS PECVD silicon oxide layers for integrated optical waveguide applications », Thin Solid Films, vol. 334, nos 1-2, , p. 60-64 (lire en ligne)DOI10.1016/S0040-6090(98)01117-1
(en) D.A.P Bulla et N.I Morimoto, « Deposition of thick TEOS PECVD silicon oxide layers for integrated optical waveguide applications », Thin Solid Films, vol. 334, nos 1-2, , p. 60-64 (lire en ligne)DOI10.1016/S0040-6090(98)01117-1