熱酸化 (Japanese Wikipedia)

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doi.org

  • Liu, M.; Peng, J. (2016). “Two-dimensional modeling of the self-limiting oxidation in silicon and tungsten nanowires”. Theoretical and Applied Mechanics Letters 6 (5): 195–199. doi:10.1016/j.taml.2016.08.002. https://doi.org/10.1016/j.taml.2016.08.002. 
  • Liu, M. (2016). “Two-dimensional modeling of the self-limiting oxidation in silicon and tungsten nanowires”. Theoretical and Applied Mechanics Letters 6 (5): 195–199. doi:10.1016/j.taml.2016.08.002etal 
  • 木下圭『枚葉回転湿式技術による半導体表面処理に関する研究』 法政大学〈博士(工学) 乙第216号〉、2015年。doi:10.15002/00011060NAID 500000935159https://doi.org/10.15002/00011060 
    木下圭「枚葉回転湿式技術による半導体表面処理に関する研究」『法政大学大学院紀要. 理工学・工学研究科編』第56巻、法政大学大学院理工学・工学研究科、2015年、1-9頁、hdl:10114/10779ISSN 2187-9923NAID 120005616117 
  • Kuiper, AET; Willemsen, MFC; Bax, JMG; Habraken, FHPH (1988). “Oxidation behaviour of LPCVD silicon oxynitride films”. Applied Surface Science (Elsevier) 33: 757-764. doi:10.1016/0169-4332(88)90377-7. https://doi.org/10.1016/0169-4332(88)90377-7. 

handle.net

hdl.handle.net

  • 木下圭『枚葉回転湿式技術による半導体表面処理に関する研究』 法政大学〈博士(工学) 乙第216号〉、2015年。doi:10.15002/00011060NAID 500000935159https://doi.org/10.15002/00011060 
    木下圭「枚葉回転湿式技術による半導体表面処理に関する研究」『法政大学大学院紀要. 理工学・工学研究科編』第56巻、法政大学大学院理工学・工学研究科、2015年、1-9頁、hdl:10114/10779ISSN 2187-9923NAID 120005616117 

karadimov.info

educypedia.karadimov.info

nii.ac.jp

ci.nii.ac.jp

  • 木下圭『枚葉回転湿式技術による半導体表面処理に関する研究』 法政大学〈博士(工学) 乙第216号〉、2015年。doi:10.15002/00011060NAID 500000935159https://doi.org/10.15002/00011060 
    木下圭「枚葉回転湿式技術による半導体表面処理に関する研究」『法政大学大学院紀要. 理工学・工学研究科編』第56巻、法政大学大学院理工学・工学研究科、2015年、1-9頁、hdl:10114/10779ISSN 2187-9923NAID 120005616117 

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ualberta.ca

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search.worldcat.org

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    木下圭「枚葉回転湿式技術による半導体表面処理に関する研究」『法政大学大学院紀要. 理工学・工学研究科編』第56巻、法政大学大学院理工学・工学研究科、2015年、1-9頁、hdl:10114/10779ISSN 2187-9923NAID 120005616117