バッファードオキサイドエッチ液 (Japanese Wikipedia)

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Iliescua, Ciprian; Jing, Ji; Tay, Francis; Miao, Jianmin; Sun, Tietun (Aug 2005). “Characterization of masking layers for deep wet etching of glass in an improved HF/HCl solution”. J. Surf. Coat. 198 (1–3): 314. doi:10.1016/j.surfcoat.2004.10.094.

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“超高純度バッファードフッ酸(BHF、LL BHF、LAL BHF)”. ステラケミファ株式会社. 2022年12月6日閲覧。