フォトレジスト (Japanese Wikipedia)

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“サムスン半導体もLGバッテリーも…日本製の素材・装置がなければ生産ストップ”. 朝鮮日報 (2022年2月13日). 2022年2月13日閲覧。

doi.org

駒野博司, 「フォトリソグラフィ (1)」『表面技術』 46巻 9号 1995年 p.778-783, doi:10.4139/sfj.46.778