전자빔 리소그래피 (Korean Wikipedia)

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McCord, M A.; Rooks, M.J. (2000). 〈2. Electron beam lithography〉. 《Microlithography》. SPIE Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication 1. 2019년 8월 19일에 원본 문서에서 보존된 문서. 2007년 1월 4일에 확인함.

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