ASML Holding N.V. -- Company History(англ.). International Directory of Company Histories, Vol. 50. St. James Press, 2003. Дата обращения: 27 января 2024.
ASML Holding N.V.(англ.). MarketScreener. Дата обращения: 26 января 2024.
nano-systems.ru
Архивированная копия (неопр.). Дата обращения: 12 ноября 2010. Архивировано 6 сентября 2014 года. «с использованием установки пошаговой мультипликации ASML PAS 5500/250С»… «ТП фотолитографии на фабрике НИИСИ РАН.»
Архивированная копия (неопр.). Дата обращения: 12 ноября 2010. Архивировано 6 сентября 2014 года. «с использованием установки пошаговой мультипликации ASML PAS 5500/250С»… «ТП фотолитографии на фабрике НИИСИ РАН.»