Optical Lithography … 40 years and holding(англ.) 12. Proc. of SPIE Vol. 6520 (2007). — «modern CMP processes planarize the wafer at nearly every lithography step (b)». Дата обращения: 4 декабря 2013. Архивировано 5 декабря 2013 года.
web.archive.org
Optical Lithography … 40 years and holding(англ.) 12. Proc. of SPIE Vol. 6520 (2007). — «modern CMP processes planarize the wafer at nearly every lithography step (b)». Дата обращения: 4 декабря 2013. Архивировано 5 декабря 2013 года.
